Daxili maqnetron püskürən örtük maşını əsasən DC (və ya MF) maqnetron püskürtmə örtüyü geniş hədəflərə uyğunlaşdırıla bilər, məsələn: mis, titan, xrom, paslanmayan polad, nikel və püskürtmə prosesi ilə örtülə bilən digər metal materiallar filmin yapışmasını, təkrar istehsalını, sıxlığını, vahidliyini və digər xüsusiyyətlərini yaxşılaşdıra bilər.
- a.Əsas xüsusiyyətlər və parametrlər
- b.üfüqi xətt quruluşu bir tərəfdən örtülmüş eyni vaxtda həyata keçirilə bilər
- c.istehsal səmərəliliyi, 1 dəq/beat qədər ən sürətli sürətlər
- d.modul dizayn, asan təmir
- e.örtük prosesinin yetkinliyi, yüksək məhsuldarlıq
- f.DC maqnetron püskürən katodlar müştəri tələblərindən asılı olaraq dəyişə bilər
- g.vakuum sistemi mexaniki nasosdan, Kök nasoslarından, diffuziya nasoslarından (molekulyar nasos) ibarətdir.
- h.Xəttin gövdə ölçüsü müştəri tələblərindən asılı olaraq dəyişə bilər