Sərt örtüklər üçün hibrid PVD maşını
Əsas örtüklər
| Kaplama | Sərtlik hv | Sürtünmə əmsalı | Korroziyaya davamlılıq | Aşınma Müqaviməti | Maksimum xidmət istiliyi C | Rəng |
| TiN (Titan Nitridi) | 2200 | 0.5 | Yaxşı | Əla | 525 | Qızıl |
| TiN –LT (Aşağı Temperaturlu Titan Nitridi) | 2200 | 0.5 | Yaxşı | Əla | 525 | Qızıl |
| TiCN (Titan Karbonitrid) | 3000 | 0.4 | Ədalətli | Əla | 400 | Bənövşə |
| AlTiN (Alüminium Titan Nitridi) | 3600 | 0.6 | Yaxşı | Əla | 750 | Qara |
| CrN (Xrom Nitridi) | 2400 | 0.5 | Əla | Yaxşı | 700 | Gümüş/Boz |
| ZrN (sirkonium nitridi) | 2500 | 0.5 | Yaxşı | Əla | 600 | Yüngül qızıl |
Əsas xüsusiyyətləri
1. PVD örtük kamerası paslanmayan poladdan hazırlanmış ön qapının qutu tipli strukturudur.
2. Kaplama kamerasının spesifikasiyası və iş hissələrinin ox ölçüsü örtük ehtiyaclarının ümumi tələblərinə cavab verir.
3. Qövs mənbəyi qabaqcıl və etibarlıdır
4. Silindrik və ya planar maqnetron püskürtmə qurğuları mövcuddur
5. PLC-nin avtomatik və ya əllə idarə edilməsi mövcuddur
Ərizə
PVD örtük maşınını işə salmaq üçün sizə lazım olacaq:
Soyuducu su: Temperatur aralığı 15-28 Selsi, soyuducu həcmi: 5p-15p
Kompressor: Çənin həcmi: 0,5-2/kub
Elektrik: PVD maşınının həcminə görə 80 ~ 150kva-dan az olmamalıdır.
Metal hissələrin ilkin təmizlənməsi üçün:
1. Ultrasonik paltaryuyan maşın
2. Təmiz su maşını və ya su təmizdirsə, 1-2 ton/saat
3. Substratın (məhsulların) səthi təmiz, quru olmalıdır
4. Operator: Qeyd edildiyi kimi tutum: 1 - 2 operator
Proses üçün:
1. Xammal: hədəf materiallar
2. Qazlar: A2, N2, O2, C2H2 və s
3. Bütün qaz çənlərində təzyiq azaldıcı klapanlar və qaz boruları, birləşdiricilər lazımdır
4. Nasos yağı və digər məmulatlar və ehtiyat hissələrinin siyahısı
