Keramika qabları üçün PVD örtük maşını
Ərizə
| Model nömrəsi | ARC-1000 | ARC-1200 | ARC-1400 | ARC-1800 | ARC-2000 |
| Vakuum kamerasının ölçüsü (diametr * hündürlük) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 |
| Vakuum kamerasının materialı | Soyuducu gödəkçə ilə SUS304 və ya SUS316L | ||||
| Qövs mənbələrinin miqdarı | 8-12 dəst | 10-14 dəst | 12-16 dəst | 14-24 dəst | 18-36 dəst |
| Nasos sistemi | molekulyar nasos və ya diffuziya nasosu+mexaniki nasos | molekulyar nasos və ya diffuziya nasosu+mexaniki nasoslar, gücləndirici nasos | |||
| Pompalama vaxtı | Atmosferdən 5.0*10-2Pa qədər 8 dəqiqədən az | ||||
| Bias Enerji Təchizatı | 20 kVt | 30 kVt | 40 kVt | 60 kVt | 60 kVt |
| Kütləvi axın tənzimləyiciləri ilə qaz paylama sistemi | ≥2 dəst | ||||
| Vakuum həddi | 5.0*10-4 Pa | ||||
| İşləmə temperaturu | 100-250 santigrat | ||||
| İş rejimi | Avtomatik və ya Əl rejimi, 10,4 düymlük PLC ekrana toxunur | ||||
| Ümumi güc | 70-180kVt | 70-180kVt | 70-180kVt | 120-300kVt | 120-300kVt |
| Ayaq izi | 3*3 metr | 3*3 metr | 3*4 metr | 4*5 metr | 4*5 metr |
• Ümumi quruluş: Şaquli ön qapı, üfüqi ön qapı, arxa vakuum toplama sistemi
• Materiallar: Boşluq yüksək keyfiyyətli SUS304 paslanmayan poladdan hazırlanmışdır
• İon qövs mənbəyi: Avadanlığın ölçüsünə uyğun olaraq çoxlu qövs enerji təchizatı sistemləri ilə təchiz edilmişdir
• Qərəzli enerji təchizatı: Yüksək güclü təkpilləli impulslu enerji təchizatı ilə təchiz edilmişdir
• Çox qövslü hədəflər: Standart olaraq bir çox titan və ya paslanmayan polad hədəflər
• Fırlanan sistem: Dəyişən tezlik sürətinin tənzimlənməsi, inqilab və fırlanmanın birləşməsi, yuxarı ötürmə və ya aşağı ötürmə.
• Vakuum sistemi (Dekorativ örtük avadanlığı): Diffuziya nasosu (opsiyaya görə molekulyar nasos) + Roots nasosu + mexaniki nasoslar
• Qaza nəzarət: Çoxtərəfli qaz kütləsi axınına nəzarət sistemi
• İstilik sistemi: dekorativ örtük 150 ℃ temperatur nəzarəti PID tənzimlənən və idarə oluna bilər
• Ağıllı idarəetmə: tam avtomatik məntiq nəzarətinə nail olmaq üçün PLC ağıllı idarəetmə + HMI tam rəngli toxunma interfeysi
• Siqnal və mühafizə: Anormal şəraitdə həyəcan siqnalı verin və müvafiq mühafizə tədbirlərini həyata keçirin.
Ümumi Tətbiqlər
1. Şüşə bilərziklər
2. Keramika plitələr və mozaika
3. Şüşə mozaika
4. Zərgərlik
5. Şüşə işıqlandırma hissələri
6. Metal hissələr
7. Keramika məmulatları
8. Diş əşyaları
9. Paslanmayan polad təbəqələrdən titan qızılı təbəqələrə,
10. Ov tüfənginin hissələri və s
